原标题：振奋人心！ASML成功研发第一代HMI多光束检测机：产能提升600%
目前制造芯片少不了技术和设备，在技术方面，现在越来越多的芯片厂商采用5nm制造工艺，使芯片性能更加完善；而在设备方面，当然首选光刻机，制造芯片除了技术好以外，还得拥有一台性能强的光刻机，这是必不可少的。目前在光刻机研发领域，荷兰ASML公司当属龙头，是全球唯一一家研发出的高端EUV光刻机的企业，除此之外，它还提供EUV光刻机给其他晶圆代工厂，如英特尔、台积电、三星等企业。
随着科学技术的发展，在5nm工艺制造方面越来越多的晶圆代工厂都已掌握，为了提升竞争力，ASML公司于近日成功研发新产品——第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000，该产品能够适用于5nm及其他更先进的工艺，促使产能大幅提升600%。
据介绍，HMI eScan1000实际上是一套能够检验先进工艺生产出来的晶圆质量的系统，其作用就是检测制造出来的晶圆是否符合制作工艺要求，以及是否达到预期结果。目前工艺越先进，检测系统就越重要，在制作工艺中越来越看重检测的重要性。
随着制程工艺不断提升，晶圆的制造也越来越复杂，若有一个步骤错误，整个晶圆质量也会随着下降，从而产生更多的错误，就这样HMI eScan1000应运而生。
这是一套以HMI多光束技术为基础的检测系统，它的内部装载有光电子系统，极为复杂。通过系统能够产生以及控制多条电子束，然后根据反射回来的电子束制成影像，进而分析晶圆质量。同时它还有高速运转的平台系统，用来控制测试的晶圆数量，经过一系列运行之后得到计算系统处理电子束的数据。
我们也可以看到，这个第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000的优势在于能够同时产生以及控制九条电子束，在此条件下，能够把产能提升到600%，同时还能减少晶圆质量分析所消耗的时间，可谓是相当厉害了。
现在HMI eScan1000已经通过相应测试，目前可以适用于5nm制造工艺以及其他先进工艺，与此同时也交付给客户进行了检测。我相信在未来的时间里，ASML会研发出更多先进设备以满足将来对制造工艺的需求，一起共赴发展。
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